International Journal of Surface Science and Engineering. 2009;3(4):310-. doi: 10.1504/IJSURFSE.2009.027418 Q41.22025

Multi-scale analysis of high precision surfaces by Stylus Profiler, Scanning White-Light Interferometry and Atomic Force Microscopy

通过触针轮廓仪、扫描白光干涉术和原子力显微镜对高精度表面进行多尺度分析

Jouini, N.; Gautier, A.; Revel, P.; Mazeran, P E.; Bigerelle, M.

DOI: 10.1504/IJSURFSE.2009.027418

摘要

期刊名：International journal of surface science and engineering

缩写：INT J SURF SCI ENG

ISSN：1749-785X

e-ISSN：1749-7868

IF/分区：1.2/Q4

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