Journal of Fusion Energy. 2015;34(6):1217-1228. doi: 10.1007/s10894-015-9954-z Q22.12025

Investigation of Effective Parameters on Metal Nitride Deposition by Plasma Focus Device: Number of Shots and Substrate Axial and Angular Positions

等离子体聚焦装置沉积金属氮化物的有效参数研究：喷射次数和基板轴向和角度位置

Hosseinnejad, Mohammad Taghi; Ghorannevis, Zohreh; Ghoranneviss, Mahmood; Etaati, G. Reza; Shirazi, Marzieh

DOI: 10.1007/s10894-015-9954-z

期刊名：Journal of fusion energy

缩写：J FUSION ENERG

ISSN：0164-0313

e-ISSN：1572-9591

IF/分区：2.1/Q2

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