On the formation of nanocomposite TiC/a-C:H coatings by the method of the magnetron sputtering of Ti in an electron-beam activated Ar/C2H2mixture

在电子束活化的Ar/C2H2混合气体中磁控溅射Ti制备TiC/a-C:H纳米复合涂层

Gavrilov, N. V.; Kamenetskikh, A. S.; Komarskiy, A. A.; Murzakaev, A. M.; Chukin, A. V.

DOI: 10.1134/s1027451014050061

期刊名：Journal of surface investigation-x-ray synchrotron and neutron techniques

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ISSN：1027-4510

e-ISSN：1819-7094

IF/分区：0.5/Q4

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