Chinese Physics Letters. 2005;22(9):2407-2410. doi: 10.1088/0256-307X/22/9/074 Q14.22025

Oxygen Precipitation within Denuded Zone Founded by Rapid Thermal Processing in Czochralski Silicon Wafers

Can, Cui; De-Ren, Yang; Xiang-Yang, Ma; Li-Ming, Fu; Rui-Xin, Fan; Duan-Lin, Que

DOI: 10.1088/0256-307X/22/9/074

期刊名：Chinese physics letters

缩写：CHINESE PHYS LETT

ISSN：0256-307X

e-ISSN：1741-3540

IF/分区：4.2/Q1

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