Chinese Physics Letters. 2010;27(2):027701-. doi: 10.1088/0256-307X/27/2/027701 Q14.22025

Preparation of Ultra Low-κ Porous SiOCH Films from Ring-Type Siloxane with Unsaturated Hydrocarbon Side Chains by Spin-On Deposition

Chun-Xiao, Yang; Chi, Zhang; Qing-Qing, Sun; Sai-Sheng, Xu; Li-Feng, Zhang; Yu, Shi; Shi-Jin, Ding; Wei, Zhang

DOI: 10.1088/0256-307X/27/2/027701

期刊名：Chinese physics letters

缩写：CHINESE PHYS LETT

ISSN：0256-307X

e-ISSN：1741-3540

IF/分区：4.2/Q1

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