International Journal of Smart and Nano Materials. 2013;4(2):128-141. doi: 10.1080/19475411.2012.749959 Q16.62025

A ZnO thin-film driven microcantilever for nanoscale actuation and sensing

Yuan, Yanhui; Shyong Chow, Kun; Du, Hejun; Wang, Peihong; Zhang, Mingsheng; Yu, Shengkai; Liu, Bo

DOI: 10.1080/19475411.2012.749959

期刊名：International journal of smart and nano materials

缩写：

ISSN：1947-5411

e-ISSN：1947-542X

IF/分区：6.6/Q1

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