Chinese Physics Letters. 2008;25(12):4223-4226. doi: 10.1088/0256-307X/25/12/010 Q14.22025

Spectroscopic Ellipsometry Study on Surface Roughness and Optical Property of AZO Films Prepared by Direct-Current Magnetron Reactive Sputtering Method

Qing-Geng, Lin; Xiao-Yong, Gao; Jin-Hua, Gu; Yong-Sheng, Chen; Shi-E, Yang; Jing-Xiao, Lu

DOI: 10.1088/0256-307X/25/12/010

期刊名：Chinese physics letters

缩写：CHINESE PHYS LETT

ISSN：0256-307X

e-ISSN：1741-3540

IF/分区：4.2/Q1

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