Advanced Optical Technologies. 2012;1(4):-. doi: 10.1515/aot-2012-0037 Q23.22025

Review of computational lithography modeling: focusing on extending optical lithography and design-technology co-optimization

计算光刻建模综述：聚焦于拓展光学光刻及设计-技术协同优化

Lai, Kafai

DOI: 10.1515/aot-2012-0037

摘要

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期刊名：Advanced optical technologies

缩写：

ISSN：2192-8576

e-ISSN：2192-8584

IF/分区：3.2/Q2

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