Chinese physics letters. 2008;25(1):202-204. doi: 10.1088/0256-307x/25/1/055 Q14.22025

A Microfabricated Inductively Coupled Plasma Excitation Source

Yong-Qing, Wang; Yong-Ni, Pu; Rong-Xia, Sun; Yu-Jun, Tang; Wen-Jun, Chen; Jian-Zhong, Lou; Wen, Ma

DOI: 10.1088/0256-307x/25/1/055

期刊名：Chinese physics letters

缩写：CHINESE PHYS LETT

ISSN：0256-307X

e-ISSN：1741-3540

IF/分区：4.2/Q1

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