Journal of failure analysis and prevention. 2007;7(2):137-143. doi: 10.1007/s11668-007-9018-4 Q21.82025

Failure Analysis of Thermal Actuators, Comb Drives, and Other Microelectromechanical Elements

热驱动器、梳齿驱动及其他微机电元件的失效分析

DOI: 10.1007/s11668-007-9018-4

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