Journal of nondestructive evaluation. 2012;31(1):46-55. doi: 10.1007/s10921-011-0119-3 Q22.42025

Crack Detection in Full Size Cz-Silicon Wafers Using Lamb Wave Air Coupled Ultrasonic Testing (LAC-UT)

采用兰姆波空气耦合超声检测（LAC-UT）对全尺寸Cz硅晶圆进行裂纹检测

Sunil Kishore Chakrapani; M. Janardhan Padiyar; Krishnan Balasubramaniam

DOI: 10.1007/s10921-011-0119-3

期刊名：Journal of nondestructive evaluation

缩写：J NONDESTRUCT EVAL

ISSN：0195-9298

e-ISSN：1573-4862

IF/分区：2.4/Q2

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