Journal of nondestructive evaluation. 2008;27(4):115-125. doi: 10.1007/s10921-008-0039-z Q22.42025

Micro-CT Imaging of MEMS Components

MEMS元件的微CT成像

Ryan F. Fisher; David E. Hintenlang

DOI: 10.1007/s10921-008-0039-z

期刊名：Journal of nondestructive evaluation

缩写：J NONDESTRUCT EVAL

ISSN：0195-9298

e-ISSN：1573-4862

IF/分区：2.4/Q2

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