Journal of materials science-materials in electronics. 2007;18(5):535-539. doi: 10.1007/s10854-006-9053-z Q23.22025

Wet etching of sputtered tantalum thin films in NaOH and KOH based solutions

基于NaOH和KOH溶液的溅射钽薄膜湿法刻蚀

S. Sood; R. Peelamedu; K. B. Sundaram; E. Dein; R. M. Todi

DOI: 10.1007/s10854-006-9053-z

期刊名：Journal of materials science-materials in electronics

缩写：J MATER SCI-MATER EL

ISSN：0957-4522

e-ISSN：1573-482X

IF/分区：3.2/Q2

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